一種用于激光直寫(xiě)光刻設(shè)備的激光功率計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220324111.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216668997U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216668997U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01J1/42（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保;李文靜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽國(guó)芯智能裝備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于激光直寫(xiě)光刻設(shè)備的激光功率計(jì)，包括一側(cè)開(kāi)設(shè)小孔的半封閉殼體，以及設(shè)置于所述半封閉殼體內(nèi)部的凹透鏡組、光學(xué)衰減片和能量探頭，激光從小孔射入依次經(jīng)過(guò)凹透鏡組和光學(xué)衰減片，到達(dá)能量探頭。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉，便于集成到原有激光直寫(xiě)光刻設(shè)備上，可以利用設(shè)備空閑的間隙時(shí)間實(shí)現(xiàn)功率測(cè)量，不影響設(shè)備的正常工作，實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)測(cè)量；對(duì)于有閉環(huán)控制系統(tǒng)的設(shè)備，還可以將其連接至閉環(huán)控制系統(tǒng)，完成功率測(cè)量的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)更多功能擴(kuò)展。 |
