一種適用于直寫光刻機的高速數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111169407.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113903366A 公開（公告）日 2022-01-07
申請公布號 CN113903366A 申請公布日 2022-01-07
分類號 G11B7/0045（2006.01）I;G06F13/40（2006.01）I 分類 信息存儲;
發(fā)明人 章廣飛;王運鋼;薛業(yè)保;李文靜 申請（專利權(quán)）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 侯克邦
地址 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，具體涉及一種適用于直寫光刻機的高速數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，將多個數(shù)據(jù)處理板需要的數(shù)據(jù)進行集中，一次性從萬兆光纖網(wǎng)輸出，明顯減少了總線搶占情況，并且通訊能力強、抗干擾能力強、穩(wěn)定性好，有效提高了數(shù)據(jù)傳輸效率；數(shù)據(jù)同步與分發(fā)模塊接收到數(shù)據(jù)后，按照預(yù)設(shè)子協(xié)議將不同數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理板需要的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)至對應(yīng)的數(shù)據(jù)處理板，并與平臺位置信號比較，如果在該位置則數(shù)據(jù)處理板將數(shù)據(jù)發(fā)送至對應(yīng)數(shù)字光調(diào)制器，實現(xiàn)了數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)與無掩膜光刻的高同步性與實時性；本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的無掩膜光刻數(shù)據(jù)傳輸效率較低的缺陷。