一種用于光刻機(jī)的倍率內(nèi)調(diào)鏡頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111575713.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114217425A 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114217425A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) G02B15/14（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李文靜;章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保;張波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙娟
地址 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于光刻機(jī)的倍率內(nèi)調(diào)鏡頭，由四組透鏡組組合而成，從左到右依次為第一正透鏡組G1、第二正透鏡組G2、第三負(fù)透鏡組G3、第四正透鏡組G4，第二正透鏡組G2為調(diào)節(jié)鏡組；四組透鏡組的參數(shù)滿足關(guān)系式1L1，其中L1為物面到第一正透鏡組主面的距離，F(xiàn)1為透鏡組G1的焦距，F(xiàn)12為透鏡組G1和透鏡組G2的組合焦距；四組透鏡組的參數(shù)滿足關(guān)系式F34>L5，F(xiàn)4