一種硅片研磨液前處理裝置和硅片研磨設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123365614.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216791798U 公開（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN216791798U 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) G01N1/28（2006.01）I;G01N27/626（2021.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 何剛;程遠(yuǎn)梅;趙莉珍;溫濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種硅片研磨液前處理裝置和硅片研磨設(shè)備。硅片研磨液前處理裝置包括：反應(yīng)釜，用于去除研磨液中的基質(zhì)；定容液供給組件，與所述反應(yīng)釜連接，所述定容液供給組件用于向所述反應(yīng)釜供給定容液；濃縮柱，用于分離和濃縮研磨液中的金屬元素，所述濃縮柱的輸出端與檢測(cè)設(shè)備連接。多通閥，所述反應(yīng)釜與所述多通閥連接，所述多通閥還與廢液管連接，所述多通閥用于控制所述反應(yīng)釜與所述廢液管連通，或者控制所述反應(yīng)釜與所述濃縮柱連通。本實(shí)用新型實(shí)施例提高了對(duì)于研磨液中金屬元素的檢測(cè)的便利性。