一種硅片清洗裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911063219.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110773505B 公開(kāi)（公告）日 2022-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN110773505B 申請(qǐng)公布日 2022-06-28
分類號(hào) B08B3/10（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 鄭秉胄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種硅片清洗裝置及方法，涉及半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域。該裝置包括：清洗槽，用于盛放清洗待清洗硅片的清洗液；設(shè)置在清洗槽內(nèi)部的多條清洗線，每相鄰兩條清洗線之間間隔一定距離，每一清洗線的兩端均分別與清洗槽的內(nèi)部側(cè)壁或設(shè)置在內(nèi)部側(cè)壁上的裝置連接；夾持結(jié)構(gòu)，設(shè)置于清洗槽的開(kāi)口的上方，用于固定多個(gè)待清洗硅片，并帶動(dòng)硅片沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，多個(gè)硅片因晶棒被切割而形成，多個(gè)硅片之間的間隙與多條清洗線相對(duì)應(yīng)。本發(fā)明實(shí)施例有效解決了現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法有效清洗相鄰硅片的相對(duì)表面，清洗質(zhì)量低的問(wèn)題。