一種導(dǎo)流筒和拉晶爐
基本信息

| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123301915.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(公告)號(hào) | CN216864376U | 公開(公告)日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216864376U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 郭超超;李騰飛;張鵬舉 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安維英格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | - |
| 地址 | 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本實(shí)用新型的第一方面公開了導(dǎo)流筒,所述導(dǎo)流筒包括:主筒體,所述主筒體包括周向壁和從所述周向壁的一個(gè)軸向端部沿徑向方向向內(nèi)延伸的底壁,周向壁圍成第一通孔,底壁圍成第二通孔;副筒體,所述副筒體可拆卸地連接至所述主筒體的底壁,所述副筒體具有第三通孔,當(dāng)所述副筒體連接至所述主筒體時(shí),所述第三通孔與所述第一通孔連通以形成所述導(dǎo)流筒的導(dǎo)流孔。本實(shí)用新型的第二方面公開了拉晶爐,所述拉晶爐包括根據(jù)第一方面的導(dǎo)流筒。導(dǎo)流筒的可拆卸式設(shè)計(jì)有效地降低了導(dǎo)流筒的更換成本,由于副筒體只構(gòu)成了導(dǎo)流筒的一部分底壁,而這一部分往往是最容易受到污染的部分,僅對(duì)這一部分進(jìn)行更換可以在解決污染問題的同時(shí)使經(jīng)濟(jì)效益最大程度地提高。 |





