基于指標(biāo)預(yù)報和解相似度分析的光刻工序動態(tài)調(diào)度方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410805103.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104536412A 公開（公告）日 2015-04-22
申請公布號 CN104536412A 申請公布日 2015-04-22
分類號 G05B19/418(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 劉民;郝井華 申請（專利權(quán)）人 正大業(yè)恒生物科技（上海）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 基于指標(biāo)預(yù)報和解相似度分析的光刻工序動態(tài)調(diào)度方法，屬于先進制造、自動化和信息領(lǐng)域，其特征在于，針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線光刻工序動態(tài)調(diào)度問題，提出一種動態(tài)調(diào)度方法。該方法首先將光刻工序動態(tài)調(diào)度問題分解為設(shè)備選擇調(diào)度子問題和工件排序調(diào)度子問題，并在線建立工件排序調(diào)度子問題的性能指標(biāo)預(yù)報模型，然后，利用基于解相似度分析的差分進化算法求解原調(diào)度問題。在差分進化算法中，上述工件排序調(diào)度子問題性能指標(biāo)預(yù)報模型用于對設(shè)備選擇調(diào)度子問題的解進行全局調(diào)度性能的快速粗評價。在對調(diào)度解的評價過程中，本發(fā)明采用精確評價和粗評價相結(jié)合的方式進行差分進化算法中解的性能評價；使用該調(diào)度方法可顯著提升光刻工序生產(chǎn)調(diào)度的效率和效果。