LED襯底加工用研磨液及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110207947.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102337084B 公開(kāi)（公告）日 2014-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN102337084B 申請(qǐng)公布日 2014-04-09
分類(lèi)號(hào) H01L33/00(2010.01)I;C09G1/02(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王志強(qiáng);方偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 鄭州三磨超硬材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州中原專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 霍彥偉;鄭園
地址 450001 河南省鄭州市高新區(qū)梧桐街121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種LED襯底加工用研磨液，包括溶劑、添加劑和研磨劑，研磨劑由金剛石微粉及非金剛石納米級(jí)拋光材料組成；金剛石微粉，純度為99%以上，粒度為：W0.5~W20；非金剛石納米級(jí)拋光材料為氧化鋁、氧化硅、氧化鈰、氧化鉻中的任意一種或任意幾種的混合物，粒度為10~100nm，純度為99%以上。本發(fā)明在采用微米級(jí)金剛石作為磨料的同時(shí)，復(fù)合加入非金剛石納米級(jí)拋光材料，既能保證研磨速率，又能很好的保證工件表面的加工質(zhì)量。