一種用于晶圓清洗的甩干設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120365473.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214175979U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214175979U 申請公布日 2021-09-10
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;李剛;周興江 申請（專利權）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機構 北京商專潤文專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓生產領域，具體為一種用于晶圓清洗的甩干設備，包括機體、排水槽、甩干機門、門把手、門體控制機構、甩干驅動機構，還包括晶圓片固定機構，所述晶圓片固定機構包括固定框架、泄水孔、滑槽、活動底板、滾輪、底板推桿、前擋板，所述固定框架下方內部兩側設置有所述滑槽，所述固定框架側壁和頂部設置有所述泄水孔，所述活動底板設置在所述滑槽之間，所述滾輪設置在所述活動底板兩側。通過本實用新型采用的一種底板可以伸出的晶圓片固定機構，需要放置晶圓時，底板伸出，此時將晶圓托盤從上而下放到底板上，不用再伸長手臂將晶圓托盤向甩干裝置內部進行放置，減少晶圓的磕碰風險，提高生產良品率。