一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120372801.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214175987U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214175987U 申請公布日 2021-09-10
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠;李剛;李文亭 申請（專利權(quán)）人 江蘇亞電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京商專潤文專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)三水街道科技路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓清洗用適用于不同尺寸的花籃，包括支撐機構(gòu)，還包括設置在所述支撐機構(gòu)上的用于對晶圓進行限位支撐的限位機構(gòu)，所述限位機構(gòu)上設置有用于對放置晶圓進行固定的固定機構(gòu)。本實用新型通過調(diào)整機構(gòu)的雙螺旋絲杠轉(zhuǎn)動，使前后兩側(cè)的滑塊在滑軌內(nèi)相對移動，調(diào)整第一限位板、第二限位板的間距，使第一限位板、第二限位板的下限位座對晶圓下側(cè)進行初步支撐，然后通過固定機構(gòu)的夾板在彈簧的作用力下對兩側(cè)進行夾緊固定，再轉(zhuǎn)動第三限位板上連接的螺桿，推動第三限位板向下移動，對晶圓上部進行支撐限位，便于適應不同尺寸晶圓的支撐固定，提高了對晶圓固定的便利性，避免多規(guī)格花籃的儲備。