后散射光路自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111204807.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113984608A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113984608A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) G01N15/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李熠豪;王占鋒;周財(cái)武 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海北分科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐秀秀
地址 201202上海市浦東新區(qū)川圖路33號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種后散射光路自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法，所述后散射光路自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)包括：激光發(fā)射裝置，用于發(fā)射激光束至被測(cè)區(qū)間，經(jīng)粉塵后產(chǎn)生散射光；視場(chǎng)限制器件，用于限制經(jīng)被測(cè)區(qū)間返回的背景光和所述散射光的視場(chǎng)大??；光束聚焦器件，用于聚焦通過(guò)所述視場(chǎng)限制器件的背景光和散射光；光電轉(zhuǎn)換器件，用于將聚焦后的所述背景光和/或所述散射光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；位置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于帶動(dòng)所述光束聚焦器件進(jìn)行位置變化；位置調(diào)控設(shè)備，用于發(fā)出位置變化指令，使所述位置移動(dòng)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述位置變化指令帶動(dòng)所述光束聚焦器件執(zhí)行校準(zhǔn)操作。本發(fā)明可以自動(dòng)進(jìn)行光路校準(zhǔn)，在實(shí)際的工業(yè)生產(chǎn)應(yīng)用中可以定期進(jìn)行光路校準(zhǔn)，以防止光路發(fā)生偏移導(dǎo)致測(cè)量誤差。