一種柵控碳納米管/碳纖維場發(fā)射陣列陰極及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310599290.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104658828A 公開（公告）日 2015-05-27
申請公布號 CN104658828A 申請公布日 2015-05-27
分類號 H01J1/304(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鞠洪建 申請（專利權）人 大連惟康科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 116014 遼寧省大連市西崗區(qū)北京街72號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柵控碳納米管/碳纖維場發(fā)射陣列陰極及其制作方法，屬于真空微電子領域，包括一塊導電基板，基板上沉積有絕緣層，絕緣層上具有一層金屬導電層，層面上，穿過絕緣層形成陣列圓孔型控制柵，在圓孔中心基板面上催化劑所處的位置點上生長出直立的碳納米管/碳纖維，一直到達金屬導電層上控制柵中心高度；其制作方法，按六個流程步驟順序進行，該方法能生長出高寬比大、細高形狀的碳納米管，所構成的場發(fā)射陰極發(fā)射穩(wěn)定，由于碳納米管的化學穩(wěn)定性比金屬好，受工作環(huán)境影響小，同時域值電壓低，而且碳納米管的制造工藝和設備都比較簡單，故生產(chǎn)成本可大幅度下降。