電腦式HMDS涂膠機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821421009.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208928470U 公開（公告）日 2019-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN208928470U 申請(qǐng)公布日 2019-06-04
分類號(hào) B05C3/109（2006.01）I; B05C11/10（2006.01）I; B05D3/04（2006.01）I; B05D3/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 安小敏; 陳善瑾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥真萍電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥拓進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 合肥真萍電子科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)習(xí)友路東，慈光路南清華啟迪科技城創(chuàng)客空間AB幢A-1007室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種電腦式HMDS涂膠機(jī)，箱體、箱門、腔體、控制器、真空系統(tǒng)、供藥液系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、常閉型繼電器、光電開關(guān)、加熱元件、測(cè)溫元件、觸摸屏、蜂鳴器和指示燈，真空系統(tǒng)包括有真空泵、充氣泵和真空度檢測(cè)元件，供藥液系統(tǒng)包括有藥液蒸汽罐，溫度控制系統(tǒng)包括有溫控儀。本實(shí)用新型具有安全防護(hù)功能，通過設(shè)置該烘箱，并設(shè)定烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高了光刻膠與硅片的黏附性。