用于觀察樣品切面的掃描電鏡樣品臺(tái)及掃描電鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202221478692.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN217009116U 公開（公告）日 2022-07-19
申請公布號(hào) CN217009116U 申請公布日 2022-07-19
分類號(hào) H01J37/20（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙東艷;王于波;陳鵬;陳燕寧;鐘明琛;單書珊 申請（專利權(quán)）人 北京智芯微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 102200北京市昌平區(qū)雙營西路79號(hào)院中科云谷園11號(hào)樓一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種用于觀察樣品切面的掃描電鏡樣品臺(tái)及掃描電鏡，包括：具有導(dǎo)電性的基臺(tái)，所述基臺(tái)為圓片狀結(jié)構(gòu)，具有用于放置樣品的上表面；具有導(dǎo)電性的檢測部件，設(shè)置在所述基臺(tái)的上表面，所述檢測部件具有至少一個(gè)與所述基臺(tái)的上表面垂直的第一平面，所述樣品的切面能夠貼附于所述第一平面。通過本實(shí)用新型提供的掃描電鏡樣品臺(tái)，能夠方便對芯片樣品進(jìn)行固定，保證樣品切面與樣品臺(tái)的有效接觸，提高觀測效果。