一種石英舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122795835.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216563042U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216563042U 申請公布日 2022-05-17
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 余仲;楊寶立;林金雨 申請（專利權）人 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號一層至六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種石英舟，包括由端板、固定部、支撐部、加強部和手持部，其中支撐部和固定部成了兩列容置空間，可提升石英舟對硅片的裝載數(shù)量；由于加強部的加強作用，因此可提升石英舟的裝載重量；由于各部件結構的設計，還可簡化石英舟的制備過程。