用于擴散設備的SIC槳及具有其的鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122753708.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216563024U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216563024U 申請公布日 2022-05-17
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張勇;張數(shù)俊;羅偉斌 申請（專利權）人 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)金牛東路62號一層至六層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于擴散設備的SIC槳及具有其的鍍膜設備，所述SIC槳包括槳葉和槳柄，槳葉的一端與槳柄連接；所述槳葉包括槳葉腹板和兩塊槳葉翼板，槳葉翼板的一側或兩側高于槳葉腹板。傳統(tǒng)SIC槳的槳葉在使用過程中易斷裂，本實用新型SIC槳的槳葉設置了槳葉翼板，可以減少槳葉的彎曲，有效防止槳葉斷裂。本實用新型應用于鍍膜設備，一方面可以降低槳葉的彎曲度，防止SIC槳斷裂，降低成本，另一方面本實用新型的SIC槳穩(wěn)定性好，槳柄固定性好，不易晃動，減少載具脫落的風險，使均勻鍍膜，提高產(chǎn)能。