一種微波等離子清洗機(jī)用的波導(dǎo)矩陣

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120901692.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214624967U 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN214624967U 申請公布日 2021-11-05
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 田鵬康 申請（專利權(quán)）人 中科光智（西安）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王小燕
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路69號創(chuàng)業(yè)研發(fā)園C區(qū)22號2-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型適用于微波等離子清洗機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種微波等離子清洗機(jī)用的波導(dǎo)矩陣，包括真空腔體、第一風(fēng)罩和第二風(fēng)罩，所述第一風(fēng)罩的數(shù)量為若干個(gè)并設(shè)置在真空腔體的上方，所述第二風(fēng)罩的數(shù)量為若干個(gè)并設(shè)置在真空腔體的正面；本實(shí)用新型能夠?qū)喂芪⒉ㄔ聪嗷ソM合，并彌補(bǔ)單管磁控管功率的不足，同時(shí)提高了超大型腔體內(nèi)的功率密度，解決了目前由于單磁控管微波功率有限，且定制超大功率磁控管價(jià)格昂貴，從而限制了超大腔體微波等離子清洗機(jī)應(yīng)用的問題，同時(shí)解決了由于超大型微波等離子清洗機(jī)存在有腔體內(nèi)微波場分布不均和功率密度不足的缺陷，進(jìn)而限制了微波等離子清洗機(jī)腔體尺寸的問題。