一種新型激光直寫式光刻運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121521734.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215006247U 公開（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN215006247U 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 洪俊輝;汪孝軍;梅文輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山新諾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中山市銘洋專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 唐飚
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)明珠路3號(hào)之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種包括光刻運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括基座及載物臺(tái)，所述載物臺(tái)通過設(shè)置于光刻運(yùn)動(dòng)平臺(tái)基座上的X向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)而在平面內(nèi)移動(dòng)，所述X向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X向預(yù)壓氣浮板、相對(duì)設(shè)置與光刻運(yùn)動(dòng)平臺(tái)基座上的X向?qū)к壖癤向包裹架，所述X向包裹架通過氣浮軸承與X向?qū)к夁B接；所述Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y向預(yù)壓氣浮板、設(shè)置與光刻運(yùn)動(dòng)平臺(tái)基座上的Y向?qū)к壖癥向包裹架，所述Y向包裹架通過氣浮軸承與Y向?qū)к夁B接，所述Y向包裹架的底部與Y向預(yù)壓氣浮板連接且通過Y向預(yù)壓氣浮板支撐，所述Y向?qū)к壍膬啥朔謩e與對(duì)應(yīng)的X向預(yù)壓氣浮板連接且通過X向預(yù)壓氣浮板支撐，且所述Y向?qū)к壍膬啥诉€分別與對(duì)應(yīng)的X向包裹架連接，所述載物臺(tái)設(shè)置于Y向包裹架上。