曝光機的擋板位置確定方法
基本信息

| 申請?zhí)?/td> | CN201710514972.6 | 申請日 | - |
| 公開(公告)號 | CN109212908A | 公開(公告)日 | 2019-01-15 |
| 申請公布號 | CN109212908A | 申請公布日 | 2019-01-15 |
| 分類號 | G03F7/20 | 分類 | 攝影術;電影術;利用了光波以外其他波的類似技術;電記錄術;全息攝影術〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 唐文靜;范剛洪;徐廣軍;王群 | 申請(專利權)人 | 昆山儀電顯示材料有限公司 |
| 代理機構 | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人 | 上海儀電顯示材料有限公司 |
| 地址 | 201108 上海市閔行區(qū)華寧路3306弄160號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 一種曝光機的擋板位置確定方法,本發(fā)明通過改變擋板位置確認圖形的位置,將其設置在兩次曝光子區(qū)域的共同邊界附近,從而在一次擋板位置確認圖形檢查過程中,可以同時檢查兩個子曝光區(qū)域的邊界。相對于每次檢查一個子曝光區(qū)域邊界的方法,能提高檢查效率、降低確認圖形的瀏覽量、縮短檢查時間、提高產能。 |





