曝光機的擋板位置確定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710514972.6 申請日 -
公開(公告)號 CN109212908A 公開(公告)日 2019-01-15
申請公布號 CN109212908A 申請公布日 2019-01-15
分類號 G03F7/20 分類 攝影術;電影術;利用了光波以外其他波的類似技術;電記錄術;全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 唐文靜;范剛洪;徐廣軍;王群 申請(專利權)人 昆山儀電顯示材料有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 上海儀電顯示材料有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)華寧路3306弄160號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種曝光機的擋板位置確定方法,本發(fā)明通過改變擋板位置確認圖形的位置,將其設置在兩次曝光子區(qū)域的共同邊界附近,從而在一次擋板位置確認圖形檢查過程中,可以同時檢查兩個子曝光區(qū)域的邊界。相對于每次檢查一個子曝光區(qū)域邊界的方法,能提高檢查效率、降低確認圖形的瀏覽量、縮短檢查時間、提高產能。