一種增強型開關器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201780052620.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110100313A 公開（公告）日 2019-08-06
申請公布號 CN110100313A 申請公布日 2019-08-06
分類號 H01L29/778 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程凱 申請（專利權）人 上海浦東發(fā)展銀行股份有限公司蘇州分行
代理機構 北京布瑞知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 孟潭
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號西北區(qū)20幢517-A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種增強型開關器件及其制造方法，解決了現(xiàn)有增強型開關器件的制造工藝復雜以及穩(wěn)定性和可靠性差的問題。其中的增強型開關器件包括：襯底(1)；依次設于所述襯底(1)上的溝道層(23)以及勢壘層(24)；形成于所述勢壘層(24)上的n型半導體層(3)，所述n型半導體層(3)的表面上定義有柵極區(qū)域；形成于所述柵極區(qū)域且至少部分貫穿所述n型半導體層(3)的凹槽(4)；以及形成于所述n型半導體層(3)表面并至少填充所述凹槽(4)內部的p型半導體材料(5)。