圖形化磁性復(fù)合襯底及包含該襯底的LED外延結(jié)構(gòu)及芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111415006.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114122211A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114122211A 申請公布日 2022-03-01
分類號 H01L33/20（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭園;呂騰飛;宋長偉;程志青;蘆玲 申請（專利權(quán)）人 淮安澳洋順昌光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 淮安市科文知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 廖娜;李鋒
地址 223005江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種圖形化磁性復(fù)合襯底及包含該襯底的LED外延結(jié)構(gòu)及芯片，包括襯底本體（110），以及設(shè)置于該襯底本體上的周期性的凸起結(jié)構(gòu)（120），凸起結(jié)構(gòu)包括底部圖案層（121）、頂部圖案層（123），以及位于兩者之間的磁性插入層（122），且磁性插入層的材料不同于頂部圖案層和底部圖案層的材料。本發(fā)明中的圖形化磁性復(fù)合襯底一方面能夠避免在LED芯片生產(chǎn)過程中加入磁性材料導(dǎo)致的LED晶體質(zhì)量變差、發(fā)光效率低下的問題；另一方面，由于包含該磁性復(fù)合襯底的LED芯片具有磁性，在微型LED巨量轉(zhuǎn)移時，磁力轉(zhuǎn)移裝置加磁吸取磁性襯底，完成微型LED的轉(zhuǎn)移。