一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822111617.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209400083U 公開(kāi)（公告）日 2019-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN209400083U 申請(qǐng)公布日 2019-09-17
分類號(hào) G01J3/18（2006.01）I; G01J3/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 何賽靈; 馬珂奇; 朱凝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 紹興圖聚光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)西環(huán)路586號(hào)科創(chuàng)大廈A座1705
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀，包括基片，輸入波導(dǎo)、自由傳輸區(qū)、反射光柵和輸出波導(dǎo)集成于基片上；輸入波導(dǎo)，用于接收待測(cè)光信號(hào)，并傳輸?shù)阶杂蓚鬏攨^(qū)；自由傳輸區(qū)，傳輸從輸入波導(dǎo)出射的待測(cè)光和被反射光柵反射的待測(cè)光；反射光柵，用于反射待測(cè)光信號(hào)至輸出波導(dǎo)入射端，使反射光在輸出波導(dǎo)的入射端滿足干涉相長(zhǎng)的條件；輸出波導(dǎo)，所述輸出波導(dǎo)為密集陣列波導(dǎo)，密集陣列波導(dǎo)由多個(gè)不同寬度的波導(dǎo)循環(huán)排列組成，每個(gè)波導(dǎo)為一個(gè)輸出通道，每個(gè)輸出通道輸出不同波長(zhǎng)的光。本實(shí)用新型的光譜儀與使用等寬度陣列波導(dǎo)作為輸出波導(dǎo)的光譜儀相比，在相同光譜儀器件尺寸的條件下，輸出通道個(gè)數(shù)更多，輸出通道間距更小，光譜儀分辨率更高。