一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811535909.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111323120A | 公開（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111323120A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-23 |
| 分類號(hào) | G01J3/18(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 何賽靈;馬珂奇;朱凝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 紹興圖聚光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 312030浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西環(huán)路586號(hào)科創(chuàng)大廈A座1705 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀，包括基片，輸入波導(dǎo)、自由傳輸區(qū)、反射光柵和輸出波導(dǎo)集成于基片上；輸入波導(dǎo)，用于接收待測(cè)光信號(hào)，并傳輸?shù)阶杂蓚鬏攨^(qū)；自由傳輸區(qū)，傳輸從輸入波導(dǎo)出射的待測(cè)光和被反射光柵反射的待測(cè)光；反射光柵，用于反射待測(cè)光信號(hào)至輸出波導(dǎo)入射端，使反射光在輸出波導(dǎo)的入射端滿足干涉相長(zhǎng)的條件；輸出波導(dǎo)，所述輸出波導(dǎo)為密集陣列波導(dǎo)，密集陣列波導(dǎo)由多個(gè)不同寬度的波導(dǎo)循環(huán)排列組成，每個(gè)波導(dǎo)為一個(gè)輸出通道，每個(gè)輸出通道輸出不同波長(zhǎng)的光。本發(fā)明的光譜儀與使用等寬度陣列波導(dǎo)作為輸出波導(dǎo)的光譜儀相比，在相同光譜儀器件尺寸的條件下，輸出通道個(gè)數(shù)更多，輸出通道間距更小，光譜儀分辨率更高。?? |
