一種復合分子泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810162949.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108412785A 公開（公告）日 2018-08-17
申請公布號 CN108412785A 申請公布日 2018-08-17
分類號 F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬建;董寶田;樂韻 申請（專利權）人 北京海斯德電機技術有限公司
代理機構 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 代理人 姚金金
地址 100191 北京市海淀區(qū)學院路35號世寧大廈410A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及分子泵技術領域，尤其涉及一種復合分子泵，包括泵殼、機芯殼體、轉軸、轉子和定子，轉子的上端封閉，轉子自下端面向上開設有安裝腔，機芯殼體的上端敞口，且機芯殼體的上部套設于安裝腔內，轉軸豎直設于機芯殼體內，且轉軸的上端設有安裝盤，緊固件自下而上穿過安裝盤和轉子將轉軸與轉子固定；轉子包括位于上部的渦輪級轉子和位于下部的牽引級轉子；定子包括與渦輪級轉子對應設置的渦輪級定子和與牽引級轉子對應設置的第一牽引級定子。本發(fā)明的轉子的上端封閉，根本上隔絕了高真空區(qū)和低真空區(qū)，因此機芯殼體內的氣體不能從轉子泄漏出去，縮短了抽氣的時間。