一種硅片清洗烘干用的花籃裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120927095.7 申請日 -
公開(公告)號 CN214898354U 公開(公告)日 2021-11-26
申請公布號 CN214898354U 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邵劍雄 申請(專利權)人 蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 代理人 曹坤
地址 215253江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)五臺山路169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片清洗烘干用的花籃裝置。屬于太陽能硅片清洗設備領域,包括左U型底板、右U型底板、支撐桿、齒桿、緩沖桿;在所述左U型底板和右U型底板上設有提拉孔;所述多根支撐桿為實心柱狀,成組對稱的固定于左、右U型底板的四角,起到固定支撐左右U型底板,形成可放置硅片的空間;本實用新型取消提拉桿結(jié)構,在底板上設計提拉孔,設備機械手直接勾住底板,可大幅降低花籃的損壞率;另外,本實用新型將花籃齒設計為菱形窄齒,通過合理的齒長確保對硅片的支撐,又減小了接觸面積,可降低硅片臟污異常。