一種硅片檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121150508.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215297174U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215297174U 申請公布日 2021-12-24
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/94（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張強;繆海波 申請（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高艷敏
地址 215253江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)五臺山路169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型所述的一種硅片檢測裝置，包括傳送帶、崩邊光源、線掃相機、若干平面鏡和臟污光源，所述硅片平鋪于轉(zhuǎn)動的傳送帶上，所述硅片包括兩條垂直于傳送帶方向的垂直側(cè)邊和兩條平行于傳送帶方向的平行側(cè)邊，所述崩邊光源照射于硅片照射于一條垂直側(cè)邊，并將垂直側(cè)邊表面情況通過平面鏡反饋于線掃相機，所述污光源照射于硅片的一條平行側(cè)邊和硅片一個表面，并將兩個位置的表面狀況通過平面鏡反饋于所述線掃相機，上述系統(tǒng)共設(shè)置兩個，用于測試硅片的四個側(cè)邊和上、下表面。本實用新型的一個系統(tǒng)中通過一個相機兩次成像解決了側(cè)邊崩邊與表面臟污的檢測，在設(shè)備硬件裝置節(jié)省了費用，通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化更好的檢測硅片的側(cè)邊崩邊。