石墨烯透明導(dǎo)電薄膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510227685.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104779015B 公開（公告）日 2017-03-15
申請公布號 CN104779015B 申請公布日 2017-03-15
分類號 H01B13/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 來霸;王奇;于化叢 申請（專利權(quán)）人 華夏易能（南京）新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 南京漢能薄膜太陽能有限公司
地址 210042 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)疏港路1號龍?zhí)段锪骰谹-29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種石墨烯透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，包括以下步驟：①在大面積玻璃基底上采用磁控濺射法沉積大約一到兩層鎳原子厚的鎳薄膜層；②在鎳薄膜層上，采用化學(xué)氣相沉積法沉積石墨烯薄膜層；③經(jīng)過降溫工藝處理后，鎳原子穿過石墨烯薄膜層析出，并附著在石墨烯薄膜層的表面；④通過弱酸型清洗工藝將石墨烯薄膜層表面的鎳層去除，然后進(jìn)行干燥，得到透明導(dǎo)電膜。本發(fā)明突破了原有技術(shù)的限制，實(shí)現(xiàn)了把石墨烯透明導(dǎo)電薄膜在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的小尺寸到工業(yè)化應(yīng)用的大尺寸應(yīng)用的跨越；在大面積應(yīng)用上，將可以替代目前常規(guī)的光伏透明導(dǎo)電膜和觸摸屏產(chǎn)業(yè)用的氧化銦錫透明導(dǎo)電膜，并可因大面積生產(chǎn)而降低成本。