用于真空設備破空管路的分流裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921059466.3 申請日 -
公開（公告）號 CN210506502U 公開（公告）日 2020-05-12
申請公布號 CN210506502U 申請公布日 2020-05-12
分類號 C23C14/22;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 梁偉;陳培專;李仁龍;魏昌華;高翔 申請（專利權）人 綿陽皓華光電科技有限公司
代理機構 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 綿陽金能移動能源有限公司
地址 621000 四川省綿陽市涪城區(qū)鳳凰中路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于真空設備破空管路的分流裝置，包括：用于向真空腔室內輸入破空氣體的破空管道；設置在破空管道上以切換其工作狀態(tài)的破空閥；設置于真空腔室內以實現(xiàn)破空的多個分流管；其中，所述破空管道在與各分流管相配合的一端設置有用于分流的轉接頭。本實用新型還有一個目的是提供一種用于真空設備破空管路的分流裝置，其能夠在進入真空腔室的一端通過配置多個分流管，使得破空氣體經(jīng)過各分流管分流后再進入腔體，減少對產(chǎn)品的沖擊，保證產(chǎn)品質量，且整體結構簡單，便于實施。