一種同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤(pán)電極圖形結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011087867.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112234015A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112234015A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-15 |
| 分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張巨先 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 煙臺(tái)睿瓷新材料技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京巨瓷科技有限公司 |
| 地址 | 265200 山東省煙臺(tái)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)貴陽(yáng)大街13號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤(pán)電極圖形結(jié)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體和材料科學(xué)領(lǐng)域。靜電吸盤(pán)中的電極單元被分割成若干個(gè)小電極帶弧后，小電極帶弧通過(guò)連接點(diǎn)的設(shè)置，整個(gè)靜電吸盤(pán)中的電極可以分成所需的任何極數(shù)。同心圓結(jié)構(gòu)的靜電吸盤(pán)電極圖形結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的靜電吸盤(pán)電極，一方面將劃分單元小型化，有利于降低殘余熱應(yīng)力；另一方面，避免了在單元?jiǎng)澐诌^(guò)程中孤立電極產(chǎn)生。是一種對(duì)稱性好，結(jié)構(gòu)均勻、簡(jiǎn)單的靜電吸盤(pán)電極。?? |
