一種晶圓片自動打磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110418586.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113118909A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113118909A 申請公布日 2021-07-16
分類號 B24B9/06（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 范桂林;李茂欣;陳海軍;李小東 申請（專利權(quán)）人 上海磐盟電子材料有限公司
代理機構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 溫開瑞
地址 201600上海市松江區(qū)長塔路399號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓片自動打磨裝置，涉及晶圓片加工技術(shù)領(lǐng)域，其包括機架以及沿機架高度方向自上而下依次設(shè)置的：放料機構(gòu)，包括放料組件，可拆卸固定連接在所述機架上，用于對切片后的晶圓片進(jìn)行放料；研磨機構(gòu)，包括驅(qū)動組件和打磨組件，所述打磨組件沿機架長度方向間隔設(shè)置有兩組，晶圓片位于兩組打磨組件之間，且所述驅(qū)動組件驅(qū)動打磨組件對晶圓片進(jìn)行打磨；支撐機構(gòu)，其位于所述研磨機構(gòu)下方，用于對待打磨的晶圓片進(jìn)行支撐；抬升機構(gòu)，包括抬升組件和承接件，所述抬升組件架設(shè)在機架上，且所述抬升組件驅(qū)動所述承接件將打磨后的晶圓片沿遠(yuǎn)離支撐機構(gòu)的方向位移。本申請具有自動化程度高，減少了人工勞動力、提高工作效率的效果。