一種可調式單晶爐中軸蓋

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021354972.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213232568U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213232568U 申請公布日 2021-05-18
分類號 C30B15/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李茂欣 申請（專利權）人 上海磐盟電子材料有限公司
代理機構 北京化育知識產權代理有限公司 代理人 尹均利
地址 201617 上海市松江區(qū)長塔路399號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及單晶爐設備技術領域，具體為一種可調式單晶爐中軸蓋，包括加熱器、坩堝、端蓋組件和石墨電極，所述端蓋組件包括第一端蓋，所述第一端蓋的內部固定連接有隔熱層，所述第一端蓋的下表面通過沉頭螺栓固定連接有第二端蓋，所述第二端蓋的下表面固定連接有橡膠墊，所述第一端蓋的下表面中心處固定連接有連接軸，所述連接軸的外部固定連接有密封塞，所述連接軸的內部設置有螺紋孔，所述端蓋組件的上方活動連接有坩堝，所述端蓋組件的下方固定連接有中軸組件。本實用新型通過優(yōu)化端蓋組件，使其能夠起到對底部管道的防護作用，通過上下端蓋和密封塞實現(xiàn)對其的密封防護效果，從而減少清洗爐體時，導致的灰塵進入管道。