一種可調(diào)式單晶爐中軸蓋

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021354972.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213232568U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213232568U 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) C30B15/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李茂欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海磐盟電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 201617 上海市松江區(qū)長(zhǎng)塔路399號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及單晶爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種可調(diào)式單晶爐中軸蓋，包括加熱器、坩堝、端蓋組件和石墨電極，所述端蓋組件包括第一端蓋，所述第一端蓋的內(nèi)部固定連接有隔熱層，所述第一端蓋的下表面通過(guò)沉頭螺栓固定連接有第二端蓋，所述第二端蓋的下表面固定連接有橡膠墊，所述第一端蓋的下表面中心處固定連接有連接軸，所述連接軸的外部固定連接有密封塞，所述連接軸的內(nèi)部設(shè)置有螺紋孔，所述端蓋組件的上方活動(dòng)連接有坩堝，所述端蓋組件的下方固定連接有中軸組件。本實(shí)用新型通過(guò)優(yōu)化端蓋組件，使其能夠起到對(duì)底部管道的防護(hù)作用，通過(guò)上下端蓋和密封塞實(shí)現(xiàn)對(duì)其的密封防護(hù)效果，從而減少清洗爐體時(shí)，導(dǎo)致的灰塵進(jìn)入管道。