半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020179750.7 申請日 -
公開（公告）號 CN201868459U 公開（公告）日 2011-06-15
申請公布號 CN201868459U 申請公布日 2011-06-15
分類號 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張浩;昝圣達;朱峰林 申請（專利權(quán)）人 江蘇綜藝光伏有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 江蘇綜藝光伏有限公司
地址 226300 江蘇省通州市興東鎮(zhèn)綜藝數(shù)碼城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室，包括腔壁、氣體注射器、負載架以及承受器，所述的氣體注射器設(shè)置在腔壁的上端，所述的承受器設(shè)置在氣體注射器的下端，其特征在于：所述的負載架設(shè)置在所述的承受器上，在所述的腔壁上設(shè)置有氣體緩沖層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型半導(dǎo)體太陽能鍍膜工藝腔室，負載架不是設(shè)置在腔壁上，而是設(shè)置在承受器上，用來支撐玻璃，在腔壁上再設(shè)獨立的氣體緩沖層單獨來阻止工藝氣體。采用本實用新型的工藝腔室，玻璃的負載架設(shè)置在承受器上，在對玻璃進行支撐后，玻璃的邊緣不會快速的降溫，經(jīng)承受器加熱后，玻璃溫度均勻，鍍膜效果好，色差小。