P型環(huán)柵器件堆疊結構及增強P型環(huán)柵器件溝道應力方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110650073.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113394295A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113394295A 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L29/78（2006.01）I;H01L29/423（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張衛(wèi);徐敏;劉桃;汪大偉;王晨;徐賽生;吳春蕾;尹睿 申請（專利權）人 上海集成電路制造創(chuàng)新中心有限公司
代理機構 上海慧晗知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 徐海晟;陳成
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)碧波路690號401-23室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于P型環(huán)柵器件的堆疊結構及增強P型環(huán)柵器件的溝道應力的方法，通過將堆疊件的犧牲層與溝道層材料的晶格常數(shù)設置成犧牲層材料的晶格常數(shù)小于溝道層的材料的晶格常數(shù)，并且溝道層的材料的晶格常數(shù)等于底層結構的材料的晶格常數(shù)；以使得初始狀態(tài)下，溝道層無應變，犧牲層具有初始的張應變；當犧牲層發(fā)生弛豫時，溝道層受到犧牲層因弛豫而誘導的壓應變，從而巧妙地利用犧牲層來增強P型環(huán)柵器件的溝道層應力，從而提高P型環(huán)柵器件的空穴遷移率。