一種光刻機(jī)的自動(dòng)上板裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822027520.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209044304U 公開（公告）日 2019-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN209044304U 申請(qǐng)公布日 2019-06-28
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明; 鄧超略; 黃文斌; 高尊虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市印之明科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市印之明科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道航城大道固戍工業(yè)區(qū)華創(chuàng)達(dá)科技園C座1樓西1區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)的自動(dòng)上板裝置，能降低操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度，自動(dòng)上板，提高工作效率，降低廢板率，包括取料機(jī)構(gòu)、傳送帶、放料架、吸附機(jī)構(gòu)和兩糾正組件，所述取料機(jī)構(gòu)設(shè)于放料架和傳送帶之間，所述取料機(jī)構(gòu)與吸附機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接，所述取料機(jī)構(gòu)帶動(dòng)吸附機(jī)構(gòu)在放料架和傳送帶上方往復(fù)移動(dòng)，所述兩糾正組件設(shè)于傳送帶遠(yuǎn)離放料架的一端的上方，所述糾正組件包括驅(qū)動(dòng)裝置和糾正柱，所述兩糾正柱相互平齊，所述驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在傳送帶上方，所述驅(qū)動(dòng)裝置和糾正柱驅(qū)動(dòng)連接，并帶動(dòng)糾正柱向下移動(dòng)設(shè)于傳送帶表面或帶動(dòng)糾正柱向上移動(dòng)設(shè)于傳送帶上方。