硅片輸運(yùn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010163485.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113380680A 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113380680A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏世偉;陳炯;洪俊華;杰夫·貝克;張長(zhǎng)勇;王占柱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 薛琦;張冉
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號(hào)207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片輸運(yùn)裝置，包括兩個(gè)預(yù)抽真空裝置和真空輸運(yùn)裝置，真空輸運(yùn)裝置用于在真空狀態(tài)下在預(yù)抽真空裝置和工藝處理裝置之間傳輸硅片，真空輸運(yùn)裝置包括：真空輸運(yùn)腔室、兩個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人和中轉(zhuǎn)臺(tái)。兩個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人中均有兩個(gè)可獨(dú)立動(dòng)作的機(jī)械手，通過兩個(gè)機(jī)械手的有序配合，使用一個(gè)機(jī)器人可對(duì)同一工位執(zhí)行硅片交換。當(dāng)一個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人在預(yù)抽真空裝置和過渡中轉(zhuǎn)臺(tái)之間傳輸硅片時(shí)，另一個(gè)搬運(yùn)機(jī)器人在中轉(zhuǎn)臺(tái)和工藝處理裝置之間傳輸硅片。由于使用了具有兩個(gè)可以獨(dú)立動(dòng)作的機(jī)械手的機(jī)器人對(duì)同一個(gè)工位進(jìn)行硅片交換的技術(shù)，結(jié)合以具有多自由度的兩個(gè)機(jī)械手，使得硅片傳輸可以高速進(jìn)行，提高整體的產(chǎn)能。