離子源引出電極系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010147462.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113363127A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113363127A 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) H01J37/08;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 洪俊華;陳炯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 薛琦;張冉
地址 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號(hào)207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種離子源引出電極系統(tǒng)，包括等離子體電極和引出電極組，所述引出電機(jī)組在束流前進(jìn)方向上依次包括第一地電極、抑制電極和第二地電極，其中，第一地電極和第二地電極接地，所述抑制電極接負(fù)壓，所述等離子體電極接正壓，所述等離子體電極和第一地電極之間的電場(chǎng)為引出電場(chǎng)，所述引出電場(chǎng)用于控制等離子體引出界面的曲率和形狀。引入另一個(gè)地電極作為屏蔽地電極，用于電場(chǎng)屏蔽隔離等離子體電極和抑制電極，穩(wěn)定引出電場(chǎng)和電場(chǎng)透鏡電場(chǎng)，控制等離子體引出界面曲率和形狀，從而來(lái)控制束流的初始形狀，由此得到理想的束流形態(tài)。