一種異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的硅片處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610150143.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107204388A 公開(kāi)（公告）日 2017-09-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN107204388A 申請(qǐng)公布日 2017-09-26
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 莊輝虎;林錦山;宋廣華;楊與勝;王樹(shù)林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鈞石（中國(guó)）能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的硅片處理方法，包括如下步驟：先對(duì)硅片進(jìn)行去損傷處理；再對(duì)硅片進(jìn)行退火處理，誘發(fā)金屬雜質(zhì)及晶體缺陷向表面位移在硅片形成潔凈區(qū)；然后讓硅片進(jìn)行兩面制絨處理，形成金字塔絨面；再進(jìn)行化學(xué)清洗，去除化學(xué)氧化層和表面殘余，并鈍化硅片表面；最后將硅片進(jìn)行二次退火處理，通過(guò)氫促進(jìn)硅片中氧外擴(kuò)，讓硅片表面形成負(fù)氧區(qū)。本發(fā)明采用腐蝕性溶液對(duì)硅片表面進(jìn)行腐蝕，去除掉表面的機(jī)械損傷層后，放入常壓空氣中快速退火，誘發(fā)金屬雜質(zhì)及晶體缺陷向表面位移形成潔凈區(qū)，然后化學(xué)制絨和清洗后再次放入高純氫氣中二次退火，利用氫促進(jìn)硅中氧外擴(kuò)，使得硅片表面形成負(fù)氧區(qū)，有效的去除了硅片表面的金屬雜質(zhì)及改善了氧含量。