一種坩堝夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120780540.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214572358U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214572358U 申請公布日 2021-11-02
分類號 C30B23/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 郭德華;蘇麗娜;劉圓圓;周敏;趙吉強 申請（專利權）人 上海天岳半導體材料有限公司
代理機構 北京君慧知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 馮妙娜
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號10幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種坩堝夾持裝置，屬于半導體技術領域。該坩堝夾持裝置包括：提升組件，所述提升組件包括升降臺和驅動機構，所述驅動機構通過連接軸與升降臺連接；夾持組件，所述夾持組件包括環(huán)形軸和若干個夾持臂，每個所述夾持臂的固定端均與所述升降臺轉動連接，每個所述夾持臂上設置有環(huán)形軸穿過的軸孔若干個所述夾持臂的自由端相互配合，用于夾持坩堝；所述升降臺運動帶動每個所述夾持臂的固定端與所述升降臺發(fā)生相對轉動，以帶動每個所述夾持臂的自由端靠近或遠離所述坩堝。該坩堝夾持裝置使操作者單手夾持不同尺寸的坩堝，實現對高溫坩堝的取放，此外，可避免人工直接接觸坩堝而對坩堝造成污染，大大提高了生產效率，節(jié)約了生產成本。