一種長晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120743599.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214881936U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214881936U 申請公布日 2021-11-26
分類號 C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉丙洋;史建偉;馬振華;張開端;陰法波 申請（專利權(quán)）人 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馮委
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號10幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種長晶爐，包括冷卻管，冷卻管包括冷卻介質(zhì)容腔；冷卻管上設(shè)有冷卻介質(zhì)入口和冷卻介質(zhì)出口，主冷卻介質(zhì)供入通道與冷卻介質(zhì)入口流路連通設(shè)置，冷卻介質(zhì)出口與主冷卻介質(zhì)排出通道流路連通設(shè)置；長晶爐還包括輔助冷卻系統(tǒng)和電控系統(tǒng)，輔助冷卻系統(tǒng)的介質(zhì)出口與冷卻介質(zhì)入口流路連通設(shè)置，冷卻介質(zhì)出口與輔助冷卻系統(tǒng)的介質(zhì)入口流路連通設(shè)置；輔助冷卻系統(tǒng)受電控系統(tǒng)控制，當主冷卻介質(zhì)供入通道和/或主冷卻介質(zhì)排出通道的介質(zhì)流動異常時，輔助冷卻系統(tǒng)對冷卻介質(zhì)容腔提供冷卻介質(zhì)。本申請所公開的所述長晶爐具有冷卻可靠、使用安全、便于維護、自動化程度高等優(yōu)點。