一種長(zhǎng)晶爐用升降系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120741651.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215593246U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215593246U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉丙洋;楊振魯;袁祥瑞;張開(kāi)端;陰法波 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮委 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號(hào)10幢301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種長(zhǎng)晶爐用升降系統(tǒng)，所述升降系統(tǒng)包括升降執(zhí)行裝置和升降臺(tái)，所述升降臺(tái)與所述升降執(zhí)行裝置傳動(dòng)設(shè)置，所述升降臺(tái)受所述升降執(zhí)行裝置驅(qū)動(dòng)，在所述升降執(zhí)行裝置的驅(qū)動(dòng)下使所述升降臺(tái)按設(shè)定路徑執(zhí)行升降動(dòng)作；所述升降系統(tǒng)還包括鎖止單元，當(dāng)所述升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)速率大于設(shè)定的速度時(shí)，所述鎖止單元將所述升降臺(tái)鎖止于所述升降執(zhí)行裝置上。本申請(qǐng)所公開(kāi)長(zhǎng)晶爐用升降系統(tǒng)具有發(fā)生故障時(shí)將所述升降臺(tái)進(jìn)行鎖止功能，具有安全、可靠、自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn)。 |
