一種掩模圖形修正方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210044740.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114063384A 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN114063384A 申請公布日 2022-02-18
分類號 G03F1/72（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 介浩宇;丁明;閆歌 申請（專利權(quán)）人 深圳晶源信息技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智享知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王琴
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福保社區(qū)紅棉道8號英達(dá)利科技數(shù)碼園C棟401A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻友好技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種掩模圖形修正方法，包括以下步驟：提供初始掩模圖形，所述初始掩模圖形中包括多個圖形點，每個圖形點具有對應(yīng)的圖形點信息；將所述初始掩模圖形中圖形點信息與預(yù)設(shè)掩模圖形匹配庫中壞點信息進(jìn)行匹配，該匹配庫包括掩模圖形壞點信息及與所述掩模圖形壞點對應(yīng)的修正點信息；若有壞點信息與初始掩模圖形中某圖形點信息匹配，則使用所述掩模圖形壞點對應(yīng)的所述修正點信息對所述初始掩模圖形進(jìn)行修正。為了解決現(xiàn)有的掩模圖形修正方法需耗費巨大的計算資源的問題，本發(fā)明提供一種掩模圖形修復(fù)方法。