一種電子級超純氨水的制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020539089.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212356561U 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN212356561U 申請公布日 2021-01-15
分類號 C01C1/02(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 馮烈;顧海燕;許京偉;金波;張金霞 申請（專利權(quán)）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江建業(yè)化工股份有限公司;浙江建業(yè)微電子材料有限公司
地址 311600浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)嚴(yán)東關(guān)路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，提供一種電子級超純氨水的制備裝置，包括包括洗滌裝置與吸收裝置，其中洗滌裝置包括高純氨氣進氣管、第二超純水進水管、洗滌塔，吸收裝置包括超純氨氣進氣管、超純水進水管、吸收塔、出料管；吸收塔為逆流操作的填料塔，吸收底部連接有一循環(huán)管且循環(huán)管的另一端與吸收塔的側(cè)壁相連，循環(huán)管從下端到上端依次設(shè)有隔膜泵、過濾單元、檢測單元，檢測單元與循環(huán)管上端之間的循環(huán)管上連接有出料管。該裝置經(jīng)過洗滌、吸收制得電子級超純氨水，吸收裝置部分循環(huán)充分，循環(huán)效率高，成本低；且料液在循環(huán)時還通過設(shè)在循環(huán)管上的過濾單元，可以去除在洗滌與吸收過程中可能引入的雜質(zhì)，提高了終產(chǎn)品的純度。??