一種高吸附的電子級(jí)氨水制造系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010279186.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111498867A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號(hào) CN111498867A 申請公布日 2020-08-07
分類號(hào) C01C1/02 分類 -
發(fā)明人 馮烈;劉尚文;陳云斌;許京偉;金波 申請（專利權(quán)）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司;浙江建業(yè)化工股份有限公司
地址 311600 浙江省杭州市建德市建德高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園姜山路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電子級(jí)氨水的制造技術(shù)領(lǐng)域，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的氨水中含有雜質(zhì)較多及設(shè)備能耗較高的問題，公開了一種高吸的率電子級(jí)氨水制造系統(tǒng)，包括蒸發(fā)器、第一氣液分離器、吸附單元、第二氣液分離器、洗滌單元及吸收單元，上述設(shè)備之間依次連接，所述吸附單元內(nèi)設(shè)有改性吸附材料，所述洗滌單元內(nèi)設(shè)有洗滌填料區(qū)，所述洗滌填料區(qū)位于所述洗滌單元的進(jìn)口與出口之間，所述吸收單元內(nèi)側(cè)的進(jìn)口與出口之間設(shè)有吸收填料區(qū)。制備得到雜質(zhì)吸附效率高的制造系統(tǒng)，該系統(tǒng)制備過程的洗滌與吸收在常壓或微正壓下進(jìn)行，采用具有磁性定向吸附能力及超大比表面能的改性吸附材料，最終得到氨水質(zhì)量濃度較高、金屬離子含量較低及性能優(yōu)異穩(wěn)定的電子級(jí)氨水。