氨吸收裝置以及制備超凈高純氨水的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310452318.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103466655B 公開（公告）日 2016-06-22
申請公布號 CN103466655B 申請公布日 2016-06-22
分類號 C01C1/02(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 馮烈;許振良;陳云斌;魏永明;劉詢;馬曉華;張金霞;顧斯文 申請（專利權(quán)）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機構(gòu) 杭州裕陽專利事務所（普通合伙） 代理人 應圣義
地址 311604 浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)府西路48號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高純度氨水吸收裝置以及工藝，公開了一種使用高純材料構(gòu)建的氨吸收裝置，包括依次連接的液氨罐、氨氣脫油裝置、氨氣脫顆粒裝置、氨吸收器以及超凈高純氨水儲存槽，還公開了一種使用上述氨吸收裝置的超凈高純氨水制備方法。本發(fā)明的優(yōu)點在于，可以制備超凈高純氨水，裝置結(jié)構(gòu)簡單，所需工藝步驟少，吸收快速，產(chǎn)量高，節(jié)能高效，無三廢排放，符合綠色環(huán)保的要求，且符合工業(yè)大規(guī)模制造的需要，具有較好的應用價值。