一種適用于電子級氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111094020.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113603113A 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN113603113A 申請公布日 2021-11-05
分類號 C01C1/02（2006.01）I;B01D3/00（2006.01）I;B01D3/14（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;B01D53/14（2006.01）I;B01D53/22（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉尚文;陳云斌;顧海燕;孫振波;張金霞;齊慶辰 申請（專利權(quán)）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州裕陽聯(lián)合專利代理有限公司 代理人 盛影影
地址 311600浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)建德高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園五馬州區(qū)塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種適用于電子級氨氣與氨水的生產(chǎn)裝置及其生產(chǎn)方法，涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，包括依次連通的蒸發(fā)器、氣液分離器、吸附裝置、第一精餾裝置、第二精餾裝置、第一洗滌裝置、第二洗滌裝置、吸收裝置和過濾裝置；其中，第一精餾裝置和第二精餾裝置之間設(shè)有熱耦合裝置，第二精餾裝置具有塔頂出氣口、第一進(jìn)口和第二進(jìn)口，熱耦合裝置具有液氨進(jìn)口、熱氣進(jìn)口、熱氣出口和液氨出口，液氨出口與第一進(jìn)口相連通，第一精餾裝置與第二進(jìn)口相連通，塔頂出氣口分別與熱氣進(jìn)口、第一洗滌裝置和氨氣儲存裝置相連通。本申請中的生產(chǎn)裝置可以同時(shí)適用于電子級氨氣與電子級氨水的生產(chǎn)，且提高了能耗利用率，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本。