一種電子級(jí)超純氨水的吸收裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020504017.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212222436U | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212222436U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號(hào) | C01C1/02(2006.01)I | 分類 | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 馮烈;許京偉;劉尚文;金波;張磊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江建業(yè)微電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 浙江建業(yè)化工股份有限公司;浙江建業(yè)微電子材料有限公司 |
| 地址 | 311600浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)嚴(yán)東關(guān)路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，提供一種電子級(jí)超純氨水的吸收裝置，包括超純氨氣進(jìn)氣管、超純水進(jìn)水管、吸收塔、出料管，所述吸收塔為逆流操作的填料塔，包括位于上部的塔體與位于下部的塔釜，塔體內(nèi)部包括從上至下依次設(shè)置的分布器、第一填料、第二填料，塔釜底部連接有一循環(huán)管且循環(huán)管的另一端與分布器上方的塔體側(cè)壁相連，循環(huán)管從下端到上端依次設(shè)有隔膜泵、過(guò)濾單元、檢測(cè)單元，檢測(cè)單元與循環(huán)管上端之間的循環(huán)管上連接有出料管。該裝置循環(huán)充分，循環(huán)效率高，降低了成本；且料液在循環(huán)時(shí)還通過(guò)設(shè)在循環(huán)管上的過(guò)濾單元，可以去除在吸收塔內(nèi)或是循環(huán)過(guò)程中引入的雜質(zhì)，提高了終產(chǎn)品的純度。?? |
