一種適用于電子級氨氣與氨水的生產裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122265598.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216005233U 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN216005233U 申請公布日 2022-03-11
分類號 C01C1/02（2006.01）I;B01D3/00（2006.01）I;B01D3/14（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;B01D53/14（2006.01）I;B01D53/22（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 劉尚文;陳云斌;顧海燕;孫振波;張金霞;齊慶辰 申請（專利權）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機構 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 代理人 盛影影
地址 311600浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)建德高新技術產業(yè)園五馬州區(qū)塊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于電子級氨氣與氨水的生產裝置，涉及化工技術領域，包括依次連通的蒸發(fā)器、氣液分離器、吸附裝置、第一精餾裝置、第二精餾裝置、第一洗滌裝置、第二洗滌裝置、吸收裝置和過濾裝置；其中，第一精餾裝置和第二精餾裝置之間設有熱耦合裝置，第二精餾裝置具有塔頂出氣口、第一進口和第二進口，熱耦合裝置具有液氨進口、熱氣進口、熱氣出口和液氨出口，液氨出口與第一進口相連通，第一精餾裝置與第二進口相連通，塔頂出氣口分別與熱氣進口、第一洗滌裝置和氨氣儲存裝置相連通。本申請中的生產裝置不僅可以同時適用于電子級氨氣與電子級氨水的生產，且提高了能耗利用率，進而降低了生產成本。