膜吸收制備超凈高純硫酸的方法及所用裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510143568.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104843653B 公開(kāi)（公告）日 2016-10-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN104843653B 申請(qǐng)公布日 2016-10-05
分類(lèi)號(hào) C01B17/90(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 許振良;馮烈;陳云斌;魏永明;劉詢(xún);馬曉華;王愛(ài)艷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江建業(yè)微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 金祺
地址 311604 浙江省杭州市建德市梅城鎮(zhèn)府西路48號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于制備超凈高純硫酸的膜吸收裝置，包括用于裝液態(tài)三氧化硫的槽罐、脫除裝置、膜吸收器、尾氣回收裝置、冷卻器、低濃度硫酸貯槽、超凈高純硫酸貯槽和過(guò)濾裝置。本發(fā)明還同時(shí)公開(kāi)了利用上述裝置進(jìn)行的膜吸收制備超凈高純硫酸的方法：將液態(tài)三氧化硫汽化成三氧化硫氣體后，首先在脫除裝置內(nèi)對(duì)三氧化硫氣體采用聚四氟乙烯微孔膜法脫除三氧化硫氣體的顆粒與雜質(zhì)；然后采用高純聚四氟乙烯(PTFE)膜吸收器對(duì)除顆粒與雜質(zhì)后的三氧化硫氣體進(jìn)行吸收，以制備超凈高純硫酸。本發(fā)明采用膜吸收方法，其目的可以去除SO3氣體中顆粒和部分油，可獲得更純的硫酸。