多源并行靜電發(fā)生器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023327466.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214150821U 公開（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214150821U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) G01R1/28（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王鋒;錢衛(wèi)東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州索拉科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉計(jì)成
地址 215000江蘇省蘇州市十梓街327號(hào)303室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多源并行靜電發(fā)生器，包括多路靜電激發(fā)源、控制機(jī)盒和控制器，控制機(jī)盒內(nèi)設(shè)有程控基準(zhǔn)高壓源，多路可選擇并行邏輯控制電路，可編程邏輯模組，所述程控基準(zhǔn)高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述可編程邏輯模組連接，所述程控基準(zhǔn)高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述多路靜電激發(fā)源連接，所述程控基準(zhǔn)高壓源用于向所述路靜電激發(fā)源提供基礎(chǔ)電源，所述多路可選擇并行邏輯控制電路用于控制所述多路靜電激發(fā)源輸出。本實(shí)用新型克服了過去半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線靜電測(cè)試效率不高的問題，有效提升產(chǎn)線測(cè)試速度和生產(chǎn)速度，速度可提高4倍，大幅提高半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線的產(chǎn)量，降低行業(yè)綜合成本，有效提高行業(yè)單位時(shí)間的利潤(rùn)。