一種用于電解法制備NF

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920989125.X 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN210855277U 公開(公告)日 2020-06-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN210855277U 申請(qǐng)公布日 2020-06-26
分類號(hào) C01B21/083(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 孫曉;車永強(qiáng);李超楠;魏磊;王娟;高英武;李梅;楊亞琴 申請(qǐng)(專利權(quán))人 洛陽(yáng)昊華氣體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 471012 河南省洛陽(yáng)市吉利區(qū)吉利科技園道南路黎明化工研究設(shè)計(jì)院吉利產(chǎn)業(yè)園辦公樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于電解法制備NF3的快速凈化分析系統(tǒng),包括氣袋(1)、緩沖瓶(2)、堿液瓶(3),其特征是堿液瓶上裝有分液漏斗(4),堿液瓶通過(guò)氣體采樣泵(5)連接三通(6);三通(6)一端通過(guò)過(guò)濾器(7)、氣體干燥器(8)連接于氣相色譜儀(9),三通(6)另一端通過(guò)針閥(11)和第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)(12)連接于氣體回收管線;氣相色譜儀(9)通過(guò)第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)(10)連接于氣體回收管線;氮?dú)馄?13)依次通過(guò)減壓閥(14)、球閥(15)、第三轉(zhuǎn)子流量計(jì)(16)連接于氣體干燥器(8)的反向吹掃氣進(jìn)口端,氣體干燥器(8)的反向吹掃氣出口端直接連接于氣體回收管線。該系統(tǒng)能快速實(shí)現(xiàn)氣體置換,提高分析效率,并實(shí)現(xiàn)堿洗瓶中堿液酸堿度的即時(shí)判斷。??